Feinste Strukturen

Gibt es bald Chips in 0,01-Mikron-Technik?

(ND). Heutige Halbleiter-Bauelemente erreichen mit Strukturbreiten von einem halben Mikrometer (Tausendstel Millimeter) schon unvorstellbare Feinheit. Doch nun soll mit einem von Forschern der Harvard-Universität und des National Institute of Standards and Technologies in den USA entwickelten Lithografie-Verfahren n...


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